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东莞市佳源达科技有限公司
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槽体式兆声波清洗机MEP-1900A系列P600
产品分类: 兆声波清洗系统
专为半导体打造的JYD-1900A兆声波清洗机,通过全晶圆覆盖的均匀声场分布与纳米级空化效应,靠液体高速剪切力剥离颗粒,彻底清除亚微粒颗粒、金属离子及有机残留。助力企业突破芯片良率瓶颈。
  • 高效清洗高效清洗
  • 自动追频自动追频
  • 减少损伤减少损伤
  • 智能控制智能控制
产品介绍

    动态频率追踪:自动校正频率,提升清洗效率;

    恒功率输出:保证清洗效果的一致性;

    精准功率调节:20%-100%连续可调,适应不同的清洗需求;

    品质管理:记录兆声波工作中的关键数据,有效管理品质;

    多种保护措施:频率异常、过流保护、过压保护、过温保护、开机诊断,确保产品的稳定性能;

    多种通讯方式:RS485/PLC远程控制,错误输出。

    清洗方式:兆声波靠液体高速剪切力剥离颗粒、无强空化破坏,半导体、晶圆、光学件清洗均匀性优。

技术参数(可根据需求定制)
型号兆声频率最大功率(W)额定功率(W)功率控制环境温度有效清洁面积适用范围故障报警控制方式工作电压
JYD-1900A-P600970±50KHz600W600W20%-100%0-40℃160*135mm6英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTU220V±10% 50/60Hz
JYD-1900A-P1200970±50KHz1200W1200W20%-100%0-40℃160*285mm6、8英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTU220V±10% 50/60Hz
JYD-1900A-P2400970±50KHz2400W2400W20%-100%0-40℃215*351mm6、8、12英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTU220V±10% 50/60Hz
    应用案例(适用于各类兆声波清洗应用)
    晶圆清洗
    晶圆清洗
    半导体器件清洗
    半导体器件清洗
    cn
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