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东莞市佳源达科技有限公司
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槽体式兆声波清洗机MEP-1900A系列
产品分类: 兆声波清洗系统
其模块化振板设计无缝集成于清洗设备,为6-12英寸晶圆制程提供零损伤、高一致性的晶圆表面处理能力,是突破芯片良率瓶颈的关键技术支点
  • 高效清洗高效清洗
  • 减少损伤减少损伤
  • 自动追频自动追频
  • 低空化效应低空化效应
产品介绍


    动态频率追踪:自动校正频率,提升清洗效率;

    恒功率输出:保证清洗效果的一致性;

    精准功率调节:20-100%连续可调,适应不同的清洗需求;

    品质管理:记录兆声波工作中的关键数据,有效管理品质;

    多种保护措施:频率异常、过流保护、过压保护、过温保护、开机诊断,确保产品的稳定性能;

    多种通讯方式:RS485、PLC远程控制,错误输出

技术参数(可根据需求定制)
产品型号发生器型号兆声频率最大功率(W)额定功率功率控制有效清洁面积适用范围恒功率故障报警控制方式工作电压发生器外型尺寸振板外型尺寸振板包装尺寸发生器包装尺寸
MEP-1900A-P600JYD-1900A-P600970±50KHz600W600W20%-100%160*135mm6英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTUAC220V±10% 50/60Hz345*110*248mm250*220*71.5mm360x330x140mm 450x340x210mm
MEP-1900A-P1200JYD-1900A-P1200970±50KHz1200W1200W20%-100%160*285mm6、8英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTUAC220V±10% 50/60Hz285*364*272mm355*245*71.5mm465x355x140mm395x475x392mm
MEP-1900A-P3600JYD-1900A-P3600970±50KHz3600W2400W20%-100%215*351mm6、8、12英寸晶圆开关量信号输出PLC/RS485/TCP-ModbusRTUAC220V±10% 50/60Hz435*364*272mm440*305*71.5mm550x415x140mm545x475x392mm
    应用案例(适用于各类兆声波清洗应用)
    晶圆清洗
    晶圆清洗
    蓝宝石晶圆清洗
    蓝宝石晶圆清洗
    半导体器件清洗
    半导体器件清洗
    硬盘清洗
    硬盘清洗
    铝材/镜面等易损件清洗
    铝材/镜面等易损件清洗
    磁头清洗
    磁头清洗
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