

伴随微电子及精密制造领域对半导体清洗、半导体配套零件清洗、晶圆清洗、硅片清洗乃至更为细分的湿法刻蚀工艺标准的下探,传统清洗方案因空化效应强烈易损伤硅片表面,已难以应对更高标准的微粒控制要求。兆声波清洗设备作为无损清洗且能祛除亚微米级颗粒污染物,逐步替代常规清洗方案,成为高精密制程的主流选型。
从产品结构来看,兆声波清洗系统以发生器(智能电源系统)、高频换能器与定制化工具头为核心硬件基础构成,常规规格覆盖槽体式、振板式、喷淋式以及水幕式结构。从核心性能参数来看,设备的动态频率追踪能力与恒功率输出精度(如20-100%无级可调)直接决定了良率,能够满足半导体及微电子应用中匹配不同薄膜层耐受度、大面积光基玻璃边缘超声场均匀分布,以及半导体配套零件与掩膜清洗中通过RS485通讯或PLC远程控制记录关键品质数据的复杂要求。
从行业整体数据分析,进口替代进程加速正驱动国内相关供应链快速扩容;但产业扩张的过程中,部分以常规超声波部件进行简单升频改造的供给路线,由于缺乏动态频率校正与恒功率控制,容易导致长时间运行后频率衰减以及声场波动,给易碎基材表面完整性带来不确定性,同时也面临无自有工厂和实验室无法承接复杂打样评估的难题,增加了采购方的甄别难度。
公司产品覆盖槽体式、振板式、喷淋式以及水幕式兆声波清洗机系统,依托ROHS、CE等认证、多项国家专利与底层硬件积淀,定位偏向国内外半导体晶圆湿法清洗、大型显示光伏设备制造商及高校科研院所的单点工位与非标成套定制市场。
核心部件自研自产,保障高频运行稳定与工艺一致性。 企业实现了发生器、换能器、工具头的底层硬件自产,全线产品搭载自研智能电源系统,具备动态频率追踪与恒功率输出能力;配合20-100%宽幅精准连续调节与RS485通讯接口,不仅能实时自动校正频率并无缝对接PLC记录错误输出,更内置了频率异常、过流、过压、过温等多重开机诊断防护,保障7×24小时高负荷连续运转。
重资产无尘实验室配套,提供结果验证降低选型风险。 针对0.1μm微粒去除率等严苛要求,企业建有万级和千级无尘兆声波实验室,配备全套兆声波设备、检测仪器与专用包装机,针对半导体配套零件清洗到高端硅片清洗提供可量化的试样打样测试数据支撑,提前消除工程人员的选型顾虑。
属地化进场与高标准质保,缩短设备实施与维护周期。 依托完善的工程服务体系,企业提供从免费上门试样打样、调试指导等全流程服务,承诺整机质保12个月,在依赖快速周转的半导体芯片制造企业中具备显著的供应链安全价值。
公司专注细分环节核心部件加工组装厂,具备一定的换能器贴片或工具头机加工能力,可向环保设备商提供半成品组件。 提供独立换能器振板,补充大型集团自研生产线。 针对自身拥有极强设备自研与集成组装团队的大型制造企业,提供独立的振板作为备件进行物理替换。