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东莞市佳源达科技有限公司
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振板式兆声波清洗系统MEP-1900A系列
产品分类: 兆声波清洗系统
专为高端半导体制造打造的MEP-1900A振板式兆声波清洗系统,以高频声能为核心驱动力,通过全晶圆覆盖的均匀声场分布与纳米级空化效应,彻底清除亚微米颗粒、金属离子及有机残留。
  • 高效清洗高效清洗
  • 减少损伤减少损伤
  • 自动追频自动追频
  • 低空化效应低空化效应
产品介绍


    动态频率追踪:自动校正频率,提升清洗效率;

    恒功率输出:保证清洗效果的一致性;

    精准功率调节:20-100%连续可调,适应不同的清洗需求;

    品质管理:记录兆声波工作中的关键数据,有效管理品质;

    多种保护措施:频率异常、过流保护、过压保护、过温保护、开机诊断,确保产品的稳定性能;

    多种通讯方式:RS485/PLC远程控制,错误输出。

技术参数(可根据需求定制)
型号发生器规格型号工作频率最大功率(W)功率控制振板规格型号振板安装尺寸有效清洁面积振板材质负载线适用
MEP-1900A-P600JYD-1900A-P6001M±8%≤600W20%-100%MEP-600250*220*64mm160*135mm316L5M6英寸晶圆
MEP-1900A-P1200JYD-1900A-P12001M±8%≤1200W20%-100%MEP-P1200355*245*64mm285*160mm316L5M6、8英寸晶圆
MEP-1900A-P1200SJYD-1900A-P1200S1M±8%≤1200W20%-100%MEP-P1200S暂无暂无316L5M6、8英寸晶圆
MEP-1900A-P1800JYD-1900A-P18001M±8%≤1800W20%-100%MEP-P1800440*305*64mm351*215mm316L5M6、8、12英寸晶圆
MEP-1900A-P2400JYD-1900A-P24001M±8%≤2400W20%-100%MEP-P2400暂无暂无316L5M6、8、12英寸晶圆
    应用案例(适用于各类兆声波清洗应用)
    晶圆清洗
    晶圆清洗
    蓝宝石晶圆清洗
    蓝宝石晶圆清洗
    磁头清洗
    磁头清洗
    半导体器件清洗
    半导体器件清洗
    硬盘清洗
    硬盘清洗
    铝材/镜面等易损件清洗
    铝材/镜面等易损件清洗
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